用于离轴照明的衍射光学元件

掩模投影系统为达到最大分辨率需要使用多极光瞳照明。Jenoptik的衍射光学元件（DOE）在不同极内部和之间高效、高精度并均匀地生成这种分布。

我们的所有衍射元件都使用高品质材料制造。这可确保较长的使用寿命，即使在高强度的紫外激光照射时也是如此。

Jenoptik用于高精度、高能效激光应用的衍射光学元件

Jenoptik为您提供针对您的特定激光应用和系统要求量身定做的衍射光学元件。这让您可以有效地对光整形，并改进系统的整体性能和灵活性。

衍射光学元件：激光束整形和分束

衍射光学元件（DOE）以高能效的方式对激光束进行整形和分束。您可以以最小的光损失实现多种多样的应用 – 在激光材料加工的生产设施、医学激光治疗和诊断仪器、在照明、印刷技术及光刻领域，以及在测量和计量系统中都可以见到衍射微光学元件的例子。 衍射光学元件可用于在定制照明的工作区中形成光的图案。 业纳提供可用于整个光谱中所有波长的衍射光学元件，并且，我们在 193 nm 和极紫外（EUV）波段拥有独一无二的经验。

作为可靠的系统合作伙伴，业纳在从最初的概念设计到生产再到系统集成的所有阶段都为您提供支持。再加上我们非常短的生产时间，我们从一开始的开发直到后期的批量生产都为您的成功做出贡献。

优点

• 精确：以现代生产方法和多年制造经验形成的高精度衍射结构。
• 高能效：通过激光束整形和分束来控制强度
• 多功能：用衍射光学元件替代或整合折射光学元件使用
• 客户特定：根据您的特定应用量身定制的衍射光学元件
• 灵活： 衍射光学元件允许用户精确控制光穿过光圈的位相，并生成复杂的强度分布。

应用领域

• 激光材料加工：在焊接、切割、划线、软焊和钻孔过程中对激光束进行整形和分束
• 生物医学设备：用于医学激光治疗和诊断仪器的衍射光学元件
• 激光雷达（LIDAR/LADAR）应用：使用激光束测量光学距离和速度
• 光刻和全息照明：掩膜投影系统中射束的均匀化、结构化光瞳照明、垂直和高度倾斜平面的均匀场照明
• 光学传感器：距离和位置传感器、移动检测
• 通信：光束分离器、波长选择和硅光学应用