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超高速微型扫描头SCANcube®III

SCANcube® III 扫描头在第一时间利用了新款 dynAXIS ® 3系列扫描振镜,这些扫描振镜实现了最高的动态性能,最低的漂移和最好的稳定性。

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新SCANcube.Ⅲ系列格外紧凑的扫描镜头建立了行业精确性和动态性能的标准。

  • 更高的扫描速度(高达100%)
  • 显著的提升了的动态性能(高达50%)
  • 更低的长期漂移(-50%)
  • 稳定的降低了温度漂移(超过40%)
  • 明显降低了热的产生(大约50%)

SCANcube® III 扫描头在第一时间利用了新款 dynAXIS ® 3系列扫描振镜。结合新的电子设备,这些扫描振镜实现了最高的动态性能,最低的漂移和最好的稳定性。

SCANcube® III系列扫描头另一项优点是有一个坚硬的,封闭的外壳隔离水和灰尘。 而且外壳紧凑的尺寸,方便轻松集成到各种生产线上。该系列与更早的SCANcube® 系列扫描头有良好的机电兼容性,且更简化,性能更高。

典型应用

  • 打标应用
  • 半导体行业的材料加工
  • 微结构的处理
  • 动态加工

品质

SCANLAB的高质量的扫描解决方案是多年开发和制造振镜扫描仪和扫描系统的经验的结果。此外,每个扫描系统出厂之前必须首先通过SCANLAB严格的老化测试。

选项

  • 各式各样的物镜
  • varioSCAN: 升级到3轴扫描系统
  • 加工过程光学监控的相机适配器

规格参数

SCAN cube® III 10 SCAN cube® III 14
孔径 10 mm 14 mm
追踪误差

0.12 ms 0.15 ms
阶跃响应时间 (1)
全速扫描的1% 0.30 ms 0.35 ms
全速扫描的10% 0.80 ms 0.90 ms
典型速度 (2)
打标速度 3.0 m/s 2.0 m/s
定位速度 16.0 m/s 14.0 m/s
写速度:良好的写入质量 925 cps 740 cps
写速度:高的写入质量 700 cps 500 cps
长时间的漂移(预热半小时后8小时内的漂移) (3)
偏移 < 100 μrad < 100 μrad
增益
< 100 ppm < 100 ppm
温度漂移
偏移 < 25 μrad/K < 25 μrad/K
增益 < 25 ppm/K < 25 ppm/K

所有的角度均是沿光轴方向

  • (1) 设定为全速扫描的1/1000
  • (2) F-θ物镜的焦距为 f = 160 mm
  • (3) 在恒定稳定和负载,没有水冷的情况

常规参数

可重复性 (RMS) < 2 μrad
分辨率 (16 bit) 11 μrad
典型扫描角度 ±0.35 rad
增益误差
< 5 mrad
零点漂移 < 5 mrad
非线性 < 0.9 mrad / 44°
额定电源 ±15 V DC,max. 3 A each
数字接口

SL2-100 or XY2-100
模拟接口 ±4.8 V
工作温度 25 °C ± 10 °C

所有角度均是沿着光轴的方向

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