d’Holoscope采用矢量的,非侵入式,非接触式的方法来测量反射材料的4D特征。基于数字全息的技术,提供全息实时深度的测量精度,相较于使用原子力显微镜可显著节约成本,省时省力。
技术参数
测量物质 | 反射材料 |
成像类型 | 强度定量相位衬度 |
摄像机 | 1280x960 像素, 8位, 3.75μm x 3.75μm/像素 |
激光波长 | 660nm -其他可用波长 |
放大倍数 | 2.97x, 10x-60x |
轴向分辨率 | 10nm |
横向分辨率 | 7.5 μm |
视场 | 4mm×3mm |
工作距离 | 17cm |
样品工作台 | 手动 x,y,z 轴, 行程范围10cm (可选取) |
体积与重量 | 长 x宽 x高: 120 x 42 x 62 x cm / 460g |
垂直测量范围 | 取决于波长 |
软件特性
应用
实时微机电系统表征
硅晶片表征
微机械学
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